O’qituvchi: Usmonov J

Andijon Davlat Unversiteti Fizika-Matematika fakulteti Fizika yo’nalishi 301-guruh talabalari Rahmonova Gulchiroy va Azimova Naziraning Yarimo’tkazgichlar fizikasi fanidan tayyorlagan

• O’qituvchi: Usmonov J

Mustaqil ishi

Reja

• Vakumda molekulalar oqimidan molekular-nur epitaksiya
• Gaz yoki bug‘-gaz aralashmasida kimyoviy o'zaro ta'sir oqibatida yuz beradigan gaz fazali epitaksiya
• Eritish yoki suyuq fazadan rekristallanish yo'li bilan suyuq fazada epitaksiya.

Molekular-nur epitaksiya. Vakuumda molekular-nurlar oqimidan hosil qilinadigan epitaksiya moddaning to'g'ri ko'chishidan sodir bo'ladi. Modda-manba yuqori vakuumda fokuslangan elektron nur oqimi yordamida molekular zarrachalar oqimini uzluksiz bug'latib (oraliq o'zaro ta'sirsiz) taglikka yetkazib beriladi. Taglik sirtga o'tirgan yarimo'tkazgich zarralari molekular o'zaro ta'sir ostida yarimo'tkazgich kristali yo'nalishini aniqlovchi to'g'ri tizimni hosil qiladi. Epitaksial qatlam o'sishi sirt bo'ylab yuz beradi va o'suvchi qatlam taglik tizimini qaytaradi. Molekulyar-nur epitaksiyaning boshqa turi - bu sublimatsiya usulidir. Bu usulda taglikdan bir necha yuz mikrometr narida joylashgan yarimo'tkazgichni elektr tokida qizdirish bilan bug'lantirib epitaksial qatlam hosil qilinadi. Bu holda na'muna - manba suyulmaydi, faqat bug'lanish va uning taglikka ko'chishi yuz beradi. Olingan qatlam o'ta yuqori solishtinna qarshilikka ega bo'ladi, chunki vakuumli kamerada kirishmalar kam bo'ladi. Biroq, bu usulning unumdorligi kichik bo'lganligi uchun ishlab chiqarishda qo'llanilmaydi.

Kimyoviy o'zaro ta'sir yordamida gal razada epitaksiya. Gaz fazada yarimo'tkazgich atomlari kimyoviy birikmalar tarkibida ko'chib, kimyoviy o'zaro ta'sir yordamida ajralib taglikka o'tiradi.Kimyoviy birikmada elementar yarimo'tkazgichlar - germaniy va kremniy qatnashishi mumkin. Ishlab chiqarish sharoitida epitaksial qatlamlarni olish kimyoviy usullari ancha keng qo'llaniladi.Gaz fazada epitaksial o'sishning mexanizmlaridan ikkitasini ko'rib o'tish mumkin. Birinchi mexanizmga asosan, taglikda yarimo'tkazgich
taglik sirtida kataliz dissotsiatsiya reaksiyasi natijasida hosil bo'ladi.Ikkinchisiga asosan, taglikdan yuqoriroqda yarimo'tkazgich birikmalari parchalanishi sodir bo'ladi. Gaz fazada diffuziya yo'li bilan yarimo'tkazgich zarrachalar taglikka yetib boradi. Yarimo'tkazgich atomlarining ajralib chiqish kimyoviy reaksiyalarini to'rtta guruhga ajratish mumkin: