Физика-техника институти, ион-плазма ва лазер технологиялари институти, самарқанд давлат


-расм. n-Si (1) ва p- Si (2) намуналарининг DLTS спектри



Download 0,76 Mb.
Pdf ko'rish
bet10/36
Sana21.02.2022
Hajmi0,76 Mb.
#33812
1   ...   6   7   8   9   10   11   12   13   ...   36
Bog'liq
kremnijli strukturalarning elektrofizik xususiyatlariga zr ti va hf kirishmalarining tasiri (1)

1-расм. n-Si (1) ва p- Si (2) намуналарининг DLTS спектри
 
Натижаларнинг таҳлили кўрсатадики, Е
v
+0.30 эВ чуқур сатҳларнинг 
ҳосил бўлиш самарадорлиги
Т
диф 
ва 

сов
га боғлиқ. Шунингдек титан 
электрофаол атомларининг DLTS спектрларидан аниқланган концентрацияси 


12 
ҳам Т
диф 
га боғлиқлиги аниқланди. Сиғим спектроскопияси ва нейтрон-
активацион таҳлил усули билан олинган маълумотларнинг таҳлили шуни 
кўрсатадики, кремнийга диффузия йўли билан киритилган титан 
атомларининг ҳаммаси ҳам электр жиҳатидан фаолликни кўрсатмайди, Si 
ҳажмидаги титаннинг фақатгина 20% га яқини электрофаол бўлади. 
Титаннинг ўзини бундай тутиши кремнийдаги бошқа ўтиш элементларининг 
ўзини тутишига ўхшайди. Биз кремнийга ўстириш жараёнида (Si
ўст

эритмадан киритилган Ti атомларининг ҳолатини ҳам ўргандик. Тадқиқ 
қилинган намуналар n-турдаги ўтказувчанликка ва 

20

100 Ом

см га эга 
эди. Si
ўст
намуналарининг DLTS спектрларининг таҳлилидан аниқланган 
чуқур сатҳларнинг параметрлари диффузион-легирланган n-Si
диф
намуналаридаги чуқур сатҳларнинг параметрларига ўхшашлиги аниқланди. 
Фотосиғим (ФС) спектрларининг ўлчашларидан n-Si намуналаридаги 
титаннинг сатҳларини идентификацияси ўтказилди. n-Si дан қилинган 
диоднинг типик фотосиғим спектри (2-расм) турли катталикдаги иккита 
поғонадан иборат. Бу титаннинг Е
с
–0.20 эВ, Е
с
–0.27 эВ га тенг фиксирланган 
ионизация энергиясига эга иккита чуқур сатҳнинг ҳосил қилишини кўрсатади 
2-расм. n-Si асосидаги диодларнинг ФС ва ИФС спектрлари 
ва h

> 0.6 эВ соҳада сиғимнинг оҳиста ортиши рўй беради. Худди шундай 
термик ишловдан ўтган n-Si (Ti сиз) назорат намуналарида фақат термик 
ишлов нуқсонлари
учун характерли бўлган Е
с
–0.20 эВ сатҳлар топилди, 
уларнинг концентрацияси N
гу 
= 10
12
см

тартибда эди.
Чуқур марказларнинг ҳосил бўлиш жараёнлари гафний билан 
диффузион-легирланган намуналарда ҳам ўрганилди. 3-расмда n-Si
намуналарининг типик DLTS спектрлари келтирилган. 
DLTS спектрларини хисоб-китоб қилиш шуни кўрсатадики, n-Si 
намуналарида Е
с

0.20 эВ ва Е
с

0.28 эВ га тенг ионизация энергиясига эга 
иккита чуқур сатҳ ҳосил бўлади. p-Si намуналарида Е
v
+0,35 эВ га тенг 


13 
ионизация энергиясига эга битта чуқур сатҳ аниқланди. DLTS спектрлари-
нинг таҳлили Е
с

0.28 эВ ва Е
v
+0.35 эВ га тенг ионизация энергиясига эга 
иккита чўққи кремнийдаги Hf атомлари билан боғлиқлигини кўрсатди. 
Фотосиғим спектрларида Е
с
-0,20 эВ ва Е
с
-0,26 эВ га тенг ионизация 
энергиясига эга иккита чўққи, индуцирланган фотосиғим спектрларида эса 
Е
v
+0,34 эВ га тенг ионизация энергиясига эга фақат битта чўққи кузатилади. 
n-Si ва p-Si спектрлари 4-расмда келтирилган. 

Download 0,76 Mb.

Do'stlaringiz bilan baham:
1   ...   6   7   8   9   10   11   12   13   ...   36




Ma'lumotlar bazasi mualliflik huquqi bilan himoyalangan ©www.hozir.org 2024
ma'muriyatiga murojaat qiling

kiriting | ro'yxatdan o'tish
    Bosh sahifa
юртда тантана
Боғда битган
Бугун юртда
Эшитганлар жилманглар
Эшитмадим деманглар
битган бодомлар
Yangiariq tumani
qitish marakazi
Raqamli texnologiyalar
ilishida muhokamadan
tasdiqqa tavsiya
tavsiya etilgan
iqtisodiyot kafedrasi
steiermarkischen landesregierung
asarlaringizni yuboring
o'zingizning asarlaringizni
Iltimos faqat
faqat o'zingizning
steierm rkischen
landesregierung fachabteilung
rkischen landesregierung
hamshira loyihasi
loyihasi mavsum
faolyatining oqibatlari
asosiy adabiyotlar
fakulteti ahborot
ahborot havfsizligi
havfsizligi kafedrasi
fanidan bo’yicha
fakulteti iqtisodiyot
boshqaruv fakulteti
chiqarishda boshqaruv
ishlab chiqarishda
iqtisodiyot fakultet
multiservis tarmoqlari
fanidan asosiy
Uzbek fanidan
mavzulari potok
asosidagi multiservis
'aliyyil a'ziym
billahil 'aliyyil
illaa billahil
quvvata illaa
falah' deganida
Kompyuter savodxonligi
bo’yicha mustaqil
'alal falah'
Hayya 'alal
'alas soloh
Hayya 'alas
mavsum boyicha


yuklab olish