Bufer gaz sifatida geliy ishlatiladi. Lazer kamerasida uch xil gaz aralashmasi joylashadi. Kamerada 10 nanosekundli qisqa muddatli kuchli elektrorazryad sodir bo’ladi. Lazer kamerasidagi elektr razryadi lazer nuri yo’nalishiga perpendikulyar ravishda sodir bo’ladi. Kameradagi ishchi gazlarning bosimi bir atmosferadan yuqoridir. Yuqori bosimli lazer kamerasida bir jinsli gazorazryadni hosil qilish ancha qiyin. Shuning uchun avvalo gazlarni qisman kamera bo’ylab ionlashtirish zarur. Gazlarni qisman ionlashtirish asosiy elektrorazryaddan avval boshlanadi. O’shandan keyin tezda lazer kamerasi bo’ylab bir jinsli asosiy gazorazryad boshlanadi va kamerada bir jinsli, tekis inversion ko’chganlik hosil bo’ladi
Bufer gaz sifatida geliy ishlatiladi. Lazer kamerasida uch xil gaz aralashmasi joylashadi. Kamerada 10 nanosekundli qisqa muddatli kuchli elektrorazryad sodir bo’ladi. Lazer kamerasidagi elektr razryadi lazer nuri yo’nalishiga perpendikulyar ravishda sodir bo’ladi. Kameradagi ishchi gazlarning bosimi bir atmosferadan yuqoridir. Yuqori bosimli lazer kamerasida bir jinsli gazorazryadni hosil qilish ancha qiyin. Shuning uchun avvalo gazlarni qisman kamera bo’ylab ionlashtirish zarur. Gazlarni qisman ionlashtirish asosiy elektrorazryaddan avval boshlanadi. O’shandan keyin tezda lazer kamerasi bo’ylab bir jinsli asosiy gazorazryad boshlanadi va kamerada bir jinsli, tekis inversion ko’chganlik hosil bo’ladi
GIN-1 (impulsli kuchlanish generatori) lazer kamerasida asosiy gazorazryadni ta’minlaydi. GIN-2 lazer kamerasidagi gazlarni qisman ionlashtirishni ta’minlaydi. GIN-1 katta kuchlanishli, kichik sigimli, K-15-10 tipidagi 40-50kV li kondensatordan va R1 iskra razryadli yacheykadan tashkil topgan. GIN-2 ham shu tipda ishlab, quvvati GIN-1 ga nisbatan ancha kichikdir. Katta quvvatli GIN-1 yuqori kuchlanishli elektr manbaidan S1 kondensatorini zaryadlaydi. GIN-2 dagi S2 kondensator ham o’sha yuqori kuchlanishli elektr manbai yordamida zaryadlanadi. Avvalo GIN-2 ishga tushadi. GIN-2 ishga tushishi uchun tashqi generatordan impulsli signal kelib R2 uchqun gazorazryad yacheykasida razryad uyg’otadi va S2 kondensatordagi elektr energiyasi lazer kamerasiga uzatiladi. O’sha elektr energiyasi kamera uzunligi bo’ylab uchqunlar hosil qiladi va gazlarni qisman ionlashtiradi. Uchqunlar ultrabinafsha yorug’liklar manbaidir. Shu sababli gazlar qisman ionlashgan bo’ladi. O’sha uchqunlar uchishi bilan GIN-1 ishga tushiriladi va S1 dagi katta quvvatli elektr energiyasi asosiy elektrodlarga SL kondensator orqali uzatiladi. Xullas, asosiy elektrodlar oralig’ida lazer kamerasida impulsli gazorazryad boshlanadi. Gazorazryad davomida lazer 13 kamerasida elektr tokining o’sish tezligi 10A/s bo’lib, 5-10 nanosekund davom etadi. Generasiya vaqti 5ns, lazer impulsining chastotasi 1-50Gs, quvvati 20–25Mvtt – ni tashkil etadi. Eksimer lazerining foydali ish koeffisiyenti 1-10%gacha yetadi. Eksimer lazerlari hozirgi kunda 193-308nm to’lqin uzunligi oralig’ida kogerent va kuchli nurlarni hosil qiladi.
GIN-1 (impulsli kuchlanish generatori) lazer kamerasida asosiy gazorazryadni ta’minlaydi. GIN-2 lazer kamerasidagi gazlarni qisman ionlashtirishni ta’minlaydi. GIN-1 katta kuchlanishli, kichik sigimli, K-15-10 tipidagi 40-50kV li kondensatordan va R1 iskra razryadli yacheykadan tashkil topgan. GIN-2 ham shu tipda ishlab, quvvati GIN-1 ga nisbatan ancha kichikdir. Katta quvvatli GIN-1 yuqori kuchlanishli elektr manbaidan S1 kondensatorini zaryadlaydi. GIN-2 dagi S2 kondensator ham o’sha yuqori kuchlanishli elektr manbai yordamida zaryadlanadi. Avvalo GIN-2 ishga tushadi. GIN-2 ishga tushishi uchun tashqi generatordan impulsli signal kelib R2 uchqun gazorazryad yacheykasida razryad uyg’otadi va S2 kondensatordagi elektr energiyasi lazer kamerasiga uzatiladi. O’sha elektr energiyasi kamera uzunligi bo’ylab uchqunlar hosil qiladi va gazlarni qisman ionlashtiradi. Uchqunlar ultrabinafsha yorug’liklar manbaidir. Shu sababli gazlar qisman ionlashgan bo’ladi. O’sha uchqunlar uchishi bilan GIN-1 ishga tushiriladi va S1 dagi katta quvvatli elektr energiyasi asosiy elektrodlarga SL kondensator orqali uzatiladi. Xullas, asosiy elektrodlar oralig’ida lazer kamerasida impulsli gazorazryad boshlanadi. Gazorazryad davomida lazer 13 kamerasida elektr tokining o’sish tezligi 10A/s bo’lib, 5-10 nanosekund davom etadi. Generasiya vaqti 5ns, lazer impulsining chastotasi 1-50Gs, quvvati 20–25Mvtt – ni tashkil etadi. Eksimer lazerining foydali ish koeffisiyenti 1-10%gacha yetadi. Eksimer lazerlari hozirgi kunda 193-308nm to’lqin uzunligi oralig’ida kogerent va kuchli nurlarni hosil qiladi.
Qo’llanish sohalari:
Qo’llanish sohalari:
1.Fotolitigrafiya(Mikroelektron chiplarni ishlab chiqarish). 2.Tibbiyotda: 1.Sterilizatsiya; 2.Ko’z jarrohligida. 3.Ilmiy tadqiqotlarda.
