“Yupqa qatlamlar fizikasi va texnologiyaSI”

“YuPQA QATLAMLAR FIZIKASI VA TEXNOLOGIYaSI”

fanidan ma’ruzalar to’plami
(5521700 “Elektronika va mikroelektronika” yo’nalishi talabalari uchun o’quv qo’llanma)

SO’Z BOSHI

Zamonaviy texnik tizimlar va vositalarni boshqarish hamda fan va texnikaning rivojlanishi elektronikaning etakchi tarmoqlaridan biri bo’lgan mikroelektronika sohasida faoliyat ko’rsatadigan malakali mutahassislarni tayyorlash bilan uzviy bog’liqdir.
Mikroelektronika mahsulotlari bo’lmish quyosh elementlari, integral mikrosxemalar, mikroprotsessorlar, o’ta yuqori chastotali detyektorlar, integral sxemalar, lazerlar, mini va mikro EHM va boshqalarni yaratish yangi xususiyatli yupqa va o’ta yupqa ko’p komponentli qatlamlar tizimlarini yaratishni taqozo qiladi. Shu boisdan ham oxirgi yillarda yupqa va o’ta yupqa qatlamlar hosil qilish texnologiyasi va fizikasiga bo’lgan e’tibor keskin ortib ketdi.
Bu kursda talabalar mikro- va nanoelektronika sohasida ishlatiladigan yupqa qatlamlar olishning zamonaviy texnologiyalari, ularning imkoniyatlari, qatlamlarning tarkibi, tuzilishi va xususiyatlarini o’rganish usullari hamda qatlam hosil bo’lishida ro’y beradigan fizik jarayonlar bilan tanishadilar.

1. 
   Ma’ruza
   

Reja

1. 
   Yupqa qatlamlarning fan, texnika va xalq xo’jaligida ahamiyati.
   
2. 
   Yupqa qatlamlar va elektronika elementlarining evolyusiyasi.
   
3. 
   Yupqa qatlam texnologiyasi haqida umumiy tushunchalar.
   
4. 
   Adsorbsiya va uning turlari.
   
5. 
   Fizik va kimyoviy adsorbsiya .
   
6. 
   Asosiy iboralar.
   

YuPQA QATLAMLARNING FAN, TEXNIKA VA XALQ XO’JALIGIDA AHAMIYaTI.
1960-65 yillargacha elektronikaning hamma sohalarida (radiotexnika, televidenie, radioaloqa ...) asosan har xil turdagi radiolampalarning ishlatilishida quyidagi kamchiliklar mavjud edi:

• 
  ularning o’lchamlari nisbatan juda katta;
  
• 
  ularni ishlatish uchun ko’p qo’shimcha manbalar va elementlar kerak
  
• 
  bo’ladi (masalan, katodni qizdiruvchi manba);
  
• 
  shovqin juda katta, demak, past quvvatli signallar bilan ishlash qiyin;
  
• 
  signallarni rostlash uchun qo’llaniladigan ko’p turdagi passiv elementlarning (qarshilik, kondensator, drosselü ...) o’lchamlari ham katta bo’ladi.
  

70-yillardan boshlab yuqorida aytilgan sohalarda asosan yarimo’tkazgichli asboblar ishlatila boshlandi. Bu soha rivojlanib aktiv elementlar hosil qilishda qalinligi 100-200 mkm dan oshmaydigan plyonkalardan foydalanish mumkinligi aniqlangan. Bunga asoslangan elektronikani esa mikroelektronika deb atala boshladi.
Hozirgi paytda nanoelektronika rivojlanmoqda, ya’ni qalinliklari o’nlab nanometr (1nm=10^-9m) bo’lgan plyonkalarni ishlatish ustida ishlar olib borilmoqda. Bunday plyonkalar ustma-ust, qatlam-qatlam qilib joylashtirilib aktiv va passiv elementlar hosil qilishda ishlatilishi mumkin. Fan va texnika rivojlanib uch o’lchamli tizimlar hosil qilinmoqda. Bunday tizimlarda 1sm³ hajmda yuz minglab, millionlab yupqa plyonkalarga asoslangan elementlarni joylashtirish mumkin. Ular asosida hosil qilingan integral sxemalarni katta va o’ta katta integral mikrosxemalar deb ataladi.
Demak, kerakli maqsadlarda ishlatilishi mumkin bo’lgan yupqa qatlamlarni hosil qilish, ularning tarkibini, kristall va elektron tuzilishini, fizik va kimyoviy xususiyatlarini o’rganish fanning ahamiyatini belgilasa, olingan yupqa plyonkalarning asbob sifatida ishlatilishi uning xalq ho’jaligida va texnikada qo’llanilishini aks ettiradi.